高純度メチルトリクロロシラン(MTS)

無色で透明な液体、約66℃、密度1.273g /ml(25℃)、揮発性および分解して水と接触して塩酸と白色沈殿物を形成します。引火点が低く(5°F)、可燃性の液体です。水から離れた密閉容器に厳密に保管する必要があります。

物理的および化学的特性

  •  溶解反応:塩酸とポリシロキサンを形成するための水との急速な反応。

  • アルコールイシス反応:アルコールと反応してアルコキシサイランを形成します。

  • アンモニア/アンモニアとの反応:アミノシランの形成。

  •  削減可能性:リチウムアルミニウム水素化物(リアル)により、メチルシラン(Ch₃sih₃)に還元することができます

  •  熱耐久性:HClを放出するか、シロキサンを形成するために、高温(> 300°C)で割れている可能性があります。





応用

半導体産業:炭化シリコン(SIC)フィルムおよび低κ誘電層の化学蒸気堆積(CVD)の前駆体。

シリコン合成:架橋シリコーン、樹脂、疎水性コーティングのビルディングブロック。

表面処理:ガラス、セラミック、フィラーに水の忌避性を与えます。

発煙シリカ生産:高純度のシリカナノ粒子の製造における中間体。

パッケージと保管

容器は316Lステンレス鋼で作られており、容量は3つのサイズ、45L、250L、および900Lを使用でき、それぞれ45kg、250kg、および1000kgを保持できます。 1/2 "および1/4" VCRインターフェイスバルブには、2種類の仕様があります。また、ISO-Tankを含む顧客の特定の要件に応じて、さまざまなパッケージとインターフェイスを提供します。

技術指標

成分/不純物名製品仕様 

純度≥99.99%(金属の不純物に基づく) 

トリメチルシリルクロリド

四塩化シリコン

総金属不純物

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Hocon International Co.、Ltd。は2015年に設立され、シリコン製品に特化したメーカーです。その製品の品種には、オルガノシラン、シリコン樹脂、シリコンオイル、改変シリコンオイル、およびその深い加工製品が含まれます。