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物理的および化学的特性
溶解反応：水と急速に反応して塩酸とポリシロキサンを生成します。
アルコール分解反応: アルコールと反応してアルコキシシランを形成します。
アンモニア/アンモニアとの反応:アミノシランの形成。
還元性 ：水素化アルミニウムリチウム (LiAlH₄) によりメチルシラン (CH₃SiH₃) に還元可能
耐熱性 ：高温 (> 300°C) で分解して HCl を放出したり、シロキサンを形成したりすることがあります。
用途
半導体産業: 炭化ケイ素 (SiC) 膜および low-κ 誘電体層の化学蒸着 (CVD) 用の前駆体。
シリコーン合成: 架橋シリコーン、樹脂、疎水性コーティングの構成要素。
表面処理：ガラス、セラミックス、フィラーなどに撥水性を付与します。
ヒュームドシリカの製造: 高純度シリカナノ粒子の製造の中間業者。
包装および保管
コンテナは316Lステンレス鋼で作られており、容量は45L、250L、900Lの3サイズがあり、それぞれ45kg、250kg、1000kgを保持できます。 1/2" および 1/4" VCR インターフェイスバルブには 2 種類の仕様があります。また、お客様の特定の要件に応じて、ISO-TANK を含むさまざまなパッケージングとインターフェースも提供します。
テクニカル指標
成分・不純物名 製品規格
純度 ≥99.99% (金属不純物に基づく)
トリメチルシリルクロリド <100ppm
四塩化ケイ素 <100ppm
総金属不純物 <10 ppm
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