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メチルトリクロロシランは、主にシリコン化合物、ヒュームドシリカ、炭化ケイ素基板のエピタキシャルウェーハ成長、炭化ケイ素ナノコーティング、および高性能炭化ケイ素セラミックベース複合材料の製造に使用される有機化合物です。