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メチルトリクロロシランは、主にシリコーン化合物の製造に使用される有機化合物です。ヒュームド シリカ、炭化ケイ素基板エピタキシャル ウェーハ成長、炭化ケイ素ナノ コーティング、高性能炭化ケイ素セラミックベース複合材料。